Tóm tắt ứng dụng
  • Chân không là không gian không chứa không khí hoặc các loại khí khác.
  • Máy bơm chân không là máy bơm để tạo ra áp suất khí thấp.
  • Trong ngành bán dẫn, bơm chân không sẽ xả hết khí kích hoạt. Sau đó, một số dầu phản ứng với khí tạo thành sản phẩm phụ. Vì các sản phẩm phụ có thể ăn mòn máy bơm nên chỉ có máy bơm chân không khô mới được sử dụng trong ngành công nghiệp bán dẫn.
Đặc điểm hệ thống
  • Nếu hệ thống chân không chỉ sử dụng một máy bơm, trong một số trường hợp, áp suất buồng có thể tăng nếu lượng khí vượt quá khả năng loại bỏ nó khỏi hệ thống của máy bơm. Để xử lý được tải trọng lớn này thì chiếc máy bơm chân không đáp ứng được nhu cầu này chính là máy bơm rễ cây.
  • Có hai loại máy bơm khô. Họ đang hỗ trợ máy bơm và máy bơm tăng áp. Máy bơm rễ thường được gọi là máy bơm tăng áp khi sử dụng cho các ứng dụng chân không và máy thổi khi sử dụng cho các ứng dụng áp suất dương thấp. Do tỷ số nén của máy bơm rễ thấp nên nó luôn được sử dụng cùng với máy bơm hỗ trợ trong các ứng dụng chân không. Và bơm dự phòng có thể được sử dụng để hỗ trợ bơm tăng áp.
Chu trình hoạt động của bơm chân không

Ứng dụng
  • Bơm chân không khô
Yêu cầu & Giải pháp
  • Chống chết máy khi thay đổi nhanh, tải nặng -> Chống chết máy nhiều lần
  • Khắc phục tình trạng mất điện tức thời -> Tìm kiếm tốc độ, Power-On-Run
  • Cảnh báo trong tình huống tốc độ thấp bất thường -> Báo động tốc độ thấp
  • Tránh quá dòng, quá áp ở tốc độ cao -> Điều chỉnh tần số khởi động suy yếu trường
  • Điều khiển véc tơ không có cảm biến tốc độ -> Điều khiển véc tơ không có cảm biến
Mô hình ứng dụng
  • S100 3.7kW 200V
Chức năng chính
  • Ngăn ngừa ứ đọng
    • Chức năng này ngăn cản động cơ ngừng hoạt động do quá tải.
  • Tìm kiếm tốc độ & Bật nguồn khi chạy
    • Hoạt động tìm kiếm tốc độ sẽ tự động tăng tốc động cơ đến tần số hoạt động sau khi phục hồi nguồn điện
  • Báo động tốc độ thấp
    • Chức năng này phát hiện hoạt động tốc độ thấp dưới tần số cụ thể.
  • Điều khiển vector không có cảm biến
    • Mô-men xoắn khởi động 200% ở tần số 0,5Hz được tạo ra và cung cấp năng lượng mạnh mẽ ở vùng tốc độ thấp không có cảm biến tốc độ.